製品紹介

(株)REGENの製品をご紹介します

PRODUCT 04

PS区間Heat配管

REGEN PSEHP-Series PSEHP Heating Pipeは、半導体工程のPumpと
Scrubber間の高温Heating Solutionとして、従来のHeat Belllows Systemから
露出された安全性と構造面率を克服した製品である。

今後の工程の変化とGas量の変化により温度がますます高く要求される状況で
配管内部の温度だけでなく、これまで温度に脆弱だった配管連結部位の温度、
Sealingまで克服して誕生した製品である。

Process	細部工程	使用GAS	Powder	温度
CVD	PE-SiN	NH3, N2O, SiH4, TEOS	SiO2, Si(NH2)x	150~200
CVD	Ti-TiN	NH3, TiCL4	Ti(NH2)Cl	180~240
DIFF	ALD SiN	DCS, NH3, F2, N2O	NH4Cl(SiNH2)xCl, SiO2	180~200
DIFF	SiN	NH3, N2O, SiH4, DCS, SiCL4	NH4Cl(SiNH2)xCl, SiO2	180~200
ETCH	METAL ETCH	BCl3, CHF3, Cl2, HCl, CH4, CF4등	B2O3, SiO2, SiF4	150~180
METAL	WN	WF6, NH3	NH4F(?)	180~200