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(株)REGENの製品をご紹介します
REGEN SEHP-Series SEHP Heating Pipeは、半導体工程のGas使用量増加と使用Gas変化、
工程の微細化、Wafer Sizeの増加、工程時間の短縮Pumping&排気Systemの負荷増加など
Heatingが重要になり、今後温度がますます高く要求される状況から誕生した超高温Heat Solutionである。