(株)REGENは人工知能とビッグデータ、自動運転な どあらゆる方面で生活を非常に早く変化させています。
(株)REGENの製品をご紹介します
REGEN SEHP-Series SEHP Heating Pipeは、半導体工程のGas使用量増加と使用Gas変化、 工程の微細化、Wafer Sizeの増加、工程時間の短縮Pumping&排気Systemの負荷増加など Heatingが重要になり、今後温度がますます高く要求される状況から誕生した超高温Heat Solutionである。