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PRODUCT

製品紹介

(株)REGENの製品をご紹介します

PRODUCT 02

高温Heat配管

製品紹介

REGEN EHP-Series EF Heating Pipeは、半導体工程のうちHashな工程
(ALD-TiN、Ti-TiN、SiN、PE-SiN、ALD-SiN、W/N, M/Eなど)のUtility配管(PumpとScrubber区間、
Scrubber Inlet部位)の連結Flange部分に、温度未達により発生するPowder発生を
Clearできる特化されたSystemで配管を200℃に維持し、 配管Flange Edge部分まで
200℃を維持する、これまで実現できなかった新しいParadigmのHeating Systemである。

また、配管内壁の実際の温度を200℃に超え、250℃‐300℃まで具現した。

Heat 配管各種 Model

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