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未来の変化と夢、その中心に(株)REGENがあります。

PRODUCT

製品紹介

(株)REGENの製品をご紹介します

PRODUCT 01

HPS

製品紹介

REGEN RPB-Series PT Sensor詰まり防止KITは、半導体工程のうちHashな工程
(ALD-TiN、Ti-TiN、SiN、PE-SiN、ALD-SiN、W/N, M/Eなど)で発生する
PT Sensor Port詰まり防止のために特化した製品であり、配管内の実際の温度200℃品を維持し、
配管Flange Edge部分まで200℃を維持する新しい概念のHeating方式を適用し、
Sensor Port及びSensor Lineの全部分率200℃を維持し、Powderの積層を防止する。

また、Sensor Port LineのDead Spaceの隠れた酸素さえも自体の極少量のHot N2品を供給し、
微量の酸素との反応も遮断する。

HPS 各種 Model

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