产品介绍

介绍(股份公司)REGEN的产品。

PRODUCT 04

PS区间热管道

REGEN PSEHP-Series PSEHP加热管是半导体工艺中的Pump和Scrubber
之间的高温加热解决方案，是克服现有的Heat Bellows System中暴露的安全
性和结构问题的产品。

在由于未来工艺的变化和Gas量的变化而需要越来越高的温度的情况下，
该产品的诞生不仅可以克服内管内部的温度，
甚至还可以克服之前易受温度影响的管道连接部位的温度及Sealing。

Process	详细流程	使用GAS	Powder	温度
CVD	PE-SiN	NH3, N2O, SiH4, TEOS	SiO2, Si(NH2)x	150~200
CVD	Ti-TiN	NH3, TiCL4	Ti(NH2)Cl	180~240
DIFF	ALD SiN	DCS, NH3, F2, N2O	NH4Cl(SiNH2)xCl, SiO2	180~200
DIFF	SiN	NH3, N2O, SiH4, DCS, SiCL4	NH4Cl(SiNH2)xCl, SiO2	180~200
ETCH	METAL ETCH	BCl3, CHF3, Cl2, HCl, CH4, CF4등	B2O3, SiO2, SiF4	150~180
METAL	WN	WF6, NH3	NH4F(?)	180~200