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(股份公司)REGEN处于未来的变化和梦想的中心。

PRODUCT

产品介绍

介绍(股份公司)REGEN的产品。

PRODUCT 02

高温热管道

产品介绍

RREGEN EHP-Series EF Heating Pipe是半导体工程中Hash的工程
(ALD-TiN, Ti-TiN, SiN, PE-SiN, ALD-SiN, W/N, M/E等)的在Utility管道
(Pump和Scrubber区间, Scrubber Inlet部位)的连接Flange部分，
因温度未达标而产生的可以Clear发生Power的特化系统，
是一种前所未有的将管道维持在200℃，甚至连管道Flange Edge部分也维
持在200℃的新型Paradigm加热系统。

另外，实现了管道内壁的实际温度超过200℃，甚至达到了250℃，300℃。

热管道的各种型号

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