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(股份公司)REGEN处于未来的变化和梦想的中心。

PRODUCT

产品介绍

介绍(股份公司)REGEN的产品。

PRODUCT 03

超高温热管道

产品介绍

REGEN SEHP-Series SEHP Heating Pipe是在半导体工程的Gas使用量增加， 所用Gas变化、
工艺精细化、Wafer Size增大、工艺时间缩短Pumping&排气系统的负荷增加等在加热变得重要，
今后对温度的要求变得越来越高的情况下诞生的超高温Heat Solution。

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