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(股份公司)REGEN处于未来的变化和梦想的中心。

PRODUCT

产品介绍

介绍(股份公司)REGEN的产品。

PRODUCT 01

HPS

产品介绍

REGEN RPB-SeriesPT传感器防堵塞套件是为防止半导体工程中Hash的工程 (ALD-TiN, Ti-TiN,
SiN, PE-SiN, ALD-SiN, W/N, M/E等)中发生的PT Sensor Port 堵塞而专门设计的产品，采用新概念
的加热方式，将管道内部的实际温度维持在200℃，即使到了管道Flange Edge部分也能维持200℃，
将Sensor Port及Sensor Line所有部分保持在200℃，防止Power叠层。

此外，即使是隐藏在Sensor Port Line的Dead Space中的氧气，也会提供其自身极少量的Hot N2，
以阻止与微量氧气的反应。

HPS 的各种型号

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