제품소개

(주)리잰의 제품을 소개합니다.

PRODUCT 04

PS구간 Heat 배관

REGEN PSEHP-Series PSEHP Heating Pipe는 반도체 공정의 Pump 와
Scrubber간의 고온 Heating Solution으로서 기존의 Heat Belllows System에서
노출된 안전성과 구조면을 극복한 제품이다.

향후 공정의 변화와 Gas량 변화로 인해 온도가 점점 높게 요구되는 상황에서
배관 내부의 온도뿐만 아니라 그동안 온도에 취약 했던 배관 연결 부위의 온도,
Sealing까지도 극복하고 탄생된 제품이다.

Process	세부 공정	사용 GAS	Powder	온도
CVD	PE-SiN	NH3, N2O, SiH4, TEOS	SiO2, Si(NH2)x	150~200
CVD	Ti-TiN	NH3, TiCL4	Ti(NH2)Cl	180~240
DIFF	ALD SiN	DCS, NH3, F2, N2O	NH4Cl(SiNH2)xCl, SiO2	180~200
DIFF	SiN	NH3, N2O, SiH4, DCS, SiCL4	NH4Cl(SiNH2)xCl, SiO2	180~200
ETCH	METAL ETCH	BCl3, CHF3, Cl2, HCl, CH4, CF4등	B2O3, SiO2, SiF4	150~180
METAL	WN	WF6, NH3	NH4F(?)	180~200