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PRODUCT

제품소개

(주)리잰의 제품을 소개합니다.

PRODUCT 02

고온 Heat 배관

제품소개

REGEN EHP-Series EF Heating Pipe은 반도체 공정 중 Hash한 공정
(ALD-TiN,Ti-TiN, SiN, PE-SiN, ALD-SiN, W/N, M/E등)의 Utility 배관 (Pump와 Scrubber구간,
Scrubber Inlet부위) 의 연결 Flange부분에, 온도 미달로 인해 발생하는 Powder 발생을
Clear 할 수 있는 특화된 System으로 배관을 200℃로 유지하고, 배관 Flange Edge부분까지도
200℃를 유지하는 이제까지 실현하지 못했던 새로운 Paradigm의 Heating System이다.

또한, 배관 내벽 실제 온도를 200℃를 넘어 250℃, 300℃까지구현하였다.

Heat 배관 각종 Model

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