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PRODUCT

제품소개

(주)리잰의 제품을 소개합니다.

PRODUCT 01

HPS

제품소개

REGEN RPB-Series PT Sensor 막힘 방지 KIT은 반도체 공정 중 Hash한 공정
(ALD-TiN,Ti-TiN, SiN,PE-SiN, ALD-SiN, W/N, M/E등)에서 발생하는
PT Sensor Port 막힘 방지를 위해 특화된 제품이며 배관내 실제온도 200℃를 유지하고,
배관 Flange Edge부분까지도 200℃를 유지하는 새로운 개념의 Heating 방식을 적용하고
Sensor Port 및 Sensor Line 전 부분을 200℃로 유지하여 Powder 적층을 방지한다.

또한 Sensor Port Line의 Dead Space에 숨은 산소 마저도 자체의 극소량의 Hot N2를 공급하여
미량의 산소와의 반응도 차단한다.

HPS 각종 Model

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